采用垂直涂覆工藝,專為平面基材的濕法薄膜制備而優(yōu)化。其設計緊湊輕量,在確保高標準涂覆效果的同時,集成完善回風系統(tǒng),為操作人員提供健康防護。
涂覆基材覆蓋范圍:200×200mm~400×400mm
涂覆濕厚:≥3um 成膜干厚:優(yōu)于3%(@500nm)
最大涂覆速度:100mm/s