擴散 &LP 自動化是一款將未工藝硅片從花籃取出插入到石英舟中, 并將工藝后硅片插回花籃的設(shè)備。
1. 結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,產(chǎn)能高,尺寸小
2. 吸盤板采用碳纖維材質(zhì),不易變形,質(zhì)量更輕,機器人壽命更久
3. 舟定位夾緊力可參數(shù)調(diào)節(jié),是否到位可反饋報警
4. 高握持力皮帶減少皮帶跑偏,柔性覆膜減少皮帶印
5. 上料具有半片補片功能,杜絕因單軌缺片導致的大餅片
| 參數(shù) | 參數(shù)值 |
| 產(chǎn)能 | 14000半片/小時 |
| 碎片率 | ≤0.03% |
| EL不良 | ≤0.03% |
| 正常運行時間 | 98.5% |