擴散&LP自動化是一款將未工藝硅片從花籃取出插入到石英舟中,并將工藝后硅片插回花籃的設備。
1. 結構設計合理,產能高,尺寸小
2. 陶瓷吸盤,吸盤具有導片涂層,大大減少靜電吸附導致的碎片
3. 離子發生器,除靜電效果優異,且壽命提高一倍以上
4. 防翹曲設計,針對BC半片硅片特點,卡片低、碎片少
5. 各部件均做振動優化,減少硅片晃動導致的崩邊