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員工通道
槽式堿拋自動化是一款將硅片從料盒中自動裝載至花籃中，搬運到槽式工藝機中并在工藝后取出花籃的設備。
1. 實時監控料位，杜絕料位不穩導致的帶片、搭片
2. 料盒頂升，獨立頂升伺服，保證物料不均衡時的設備穩定產出
3. NG剔除徹底，沒有碎片卡住軌道或進入花籃
4. 硅片入花籃位置整齊度可做到±1mm，入底齒且無崩邊
5. 機器人抓取花籃進行裝卸壓桿，伺服電機控制壓桿升降
| 參數 | 參數值 |
| 產能 | 32000 半片 / 小時 |
| 碎片率 | ≤0.01% |
| EL不良 | 0% |
| 正常運行時間 | 98.5% |
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